微纳器件与微系统团队

团队名称

微纳器件与微系统团队

团队介绍

微纳器件与微系统团队是“智能微传感器与微系统教育部工程研究中心”、“浙江省集成电路与智能传感国际科技合作基地”、“射频电路与系统教育部重点实验室” 等省部级科研平台以及“杭州电子科技大学温州研究院” 产学研平台的重要支撑团队。本团队依托相关省部级科研平台开展智能传感、集成电路、微纳器件等方面的基础应用理论研究，并依托相关产学研平台开展实用成果转化。我们的目标是：做国际一流的科研（“顶天”），做有实际应用前景的科研（“立地”）。

本团队目前由8位教授、11位副教授和5位年青博士讲师组成，其中包括国家杰青1名、国家级人才2名、国家有突出贡献中青年专家1名、国家百千万人才工程1名、省级人才4名。近五年累计主持国家及省部级项目50余项，包括国家级重点项目5项、省级重点项目5项（择优委托1项）、省领军型创新创业团队1个，累计经费6000余万元。已在国内外知名学术期刊(如Nature Photonics、Nano Energy、Advanced Science、npj 2D Materials and Applications、Biosensors and Bioelectronics、Laser & Photonics Reviews、IEEE Transactions、《中国科学》等)发表SCI论文200余篇，出版专著2部，授权发明专利100余项（含美国专利13项）。团队常年与海外多所著名高校保持了良好的科研合作关系。获得中国产学研合作创新奖、促进奖以及中法团队合作创新奖-研发奖。

科研方向

1. 智能传感：传感机理和器件、新型传感电路、微系统集成和应用

2. 集成电路：射频EDA、射频芯片设计、先进互连及集成技术

3. 微纳器件：纳米尺度器件、后摩尔时代新器件

代表性成果

1）发明了新型MEMS热质量流量芯片并将其实用化，开发出多个系列用于各类气体及微流体的流量和浓度的计量和测控的产品，并作为主要单位起草国家标准GB/T 20727-2006《热式质量流量计》，为传统流体计量带来了根本性变革，所研发的流量计等产品均已批量生产，产值上亿元。

2）国际小波电磁计算方法的开拓者，将边界元法用于芯片参数提取的先驱，基于国际上最快的电磁计算引擎，开发出商用射频芯片EDA工具。